據資料顯示，相較普通空調系統而言，潔凈空調系統的能耗是普通空調系統15倍以上，且半導體工廠中潔凈空調設備的能耗甚至占到工廠總能耗的40%以上。通過分析半導體廠房的特點，其能耗大的主要原因如下：

(1)由于半導體廠房對生產環境潔凈度要求高，因此所需的新風量和換氣次數大。同時潔凈空調系統一般采用2-3級過濾方式，其凈化過程中的阻力較大，一般達到700Pa左右，風機功率大。以一個ISO6級的潔凈室為例，假設潔凈室面積為12m*8m，高3m，如設計用垂直單向流的氣流組織形式，按照設計規范其送風口風速為3-5m/s，其送風量非常大，折合成換氣次數為300~400次/小時，因此其耗能非常高；

(2)由于半導體制造工藝要求，潔凈室的溫度一般為23℃±2℃、濕度為35%~55%，換算后半導體廠的冷負荷高達2500~1000W/㎡。因此其空調系統的制冷和制熱要求高；

(3)半導體廠房由于設備的啟停耗時長，一般采用“三班倒”進行24小時不間斷工作，這要求潔凈空調系統和冷熱源系統的工作制為7*24小時，因此對比一般空調系統，其工作時間長；

從以上分析得出，由于潔凈室具有換氣次數高、要求風量大、空調系統的風壓高和運行時間長的特點，故其能耗較大，運行維護成本高。為了滿足潔凈室生產工藝要求的條件，盡可能的減少潔凈室空調的能耗是我們需要分析解決的問題。一般潔凈室常用的節能措施包括：

(1)采用變風量方式運行。在夜間或節假日期間，空氣處理機組降低風量運行，工作在低功耗模式下，節約動力費用；

(2)盡可能的減少風機溫升負荷。使用低阻過濾器，減少主循環管路上的阻力，可減少風機功率轉化熱量后對系統的影響；

(3)提高設備效率以降低功率消耗。采用高效率的風機、水泵和單位功率制冷量大的冷凍機等；

(4)控制合適的新風量。在滿足潔凈室生產工藝條件下，盡可能減少排風量。新風冷負荷可能占40%-60%的總負荷，合理的新風量將極大的減少能耗；

(5)采用蓄冷（包括冰蓄冷、水蓄冷）方式，可以節電移峰，降低成本；